Publié (e) le 21/08/2026
Régulateur de gaz ultra-pur de qualité semi-conducteur pour le contrôle des gaz de procédé
Les gaz ultra-purs (UHP) sont essentiels à la fabrication moderne des semi-conducteurs. Des gaz de procédé tels que l'azote (N₂), l'argon (Ar), l'hydrogène (H₂), l'oxygène (O₂), le dioxyde de carbone (CO₂) et divers gaz spéciaux sont utilisés tout au long de la fabrication des plaquettes, notamment pour les étapes de dépôt, de gravure, d'implantation ionique, de nettoyag...