Publié (e) le 23/04/2016
nanopositionnement piézoélectrique stade XSA- 0200C de DSM dispose d' un mouvement de flexion - guidée sur une plage de Voyage de 200 microns pour les processus de numérisation , de métrologie et d'inspection . conception cinématique stable et rigide du stade favorise le parallélisme dans le mouvement de sortie avec un pas minimal et de lacet , ainsi que la réactivité dynamique pour une excellente stabilité et contrôle la position .
• boucle ouverte Voyage: 200 microns ± 10%
• Rigidité: 0,8N / micron ± 10%
• Linéarité : 0,12% typique
• Pitch / Yaw : < 20 micro radians typique
• Freq Resonant Déchargé : 420 Hz ± 10 %
• Force de blocage : 160 N ± 10%
• Capacité Push / force de traction : 40 N Max
• Capacité électrique: 3,6 micro Farad ± 10 %
• Plage de température de fonctionnement: -20 à 80 d...