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Mesure du vide dans les sas de transfert

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Un seul capteur pour l'ensemble du cycle

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Dans la fabrication de semi-conducteurs, les sas de transfert nécessitent généralement plusieurs capteurs de pression, ce qui entraîne des efforts d’intégration, un risque de contamination et une complexité inutile. Le transducteur de vide VSL les remplace par un seul appareil, couvrant toute la plage de mesure de 1 200 à 10⁻⁴ mbar.

Moins de composants. Moins de risques. Une plus grande fiabilité des processus.
Dans la fabrication de semi-conducteurs, chaque particule compte, tout comme chaque seconde du processus. Les sas de transfert constituent un goulot d’étranglement critique : ils permettent un transfert contrôlé entre les environnements atmosphériques et sous vide, tout en protégeant les chambres de traitement contre la contamination et en garantissant l’efficacité des temps de cycle.

La réalité dans de nombreux systèmes :
Plusieurs capteurs pour différentes plages de pression, un effort d’intégration important et une coordination complexe des processus.
Il existe une solution plus simple.

Le transducteur de vide VSL réduit cette complexité à un seul appareil.
En combinant deux capteurs à membrane piézorésistifs avec un capteur Pirani, le VSL couvre une plage de mesure de 1 200 à 10⁻⁴ mbar (absolue) et de -1 060 à +340 mbar (relative à l’atmosphère).
Pendant les phases de pompage et de mise à l’air libre, les capteurs piézoélectriques fournissent des mesures rapides (40 ms), indépendantes du gaz et précises (0,3 % de la pleine échelle). Dans la plage de basse pression, le capteur Pirani garantit des conditions de transfert stables et reproductibles vers la chambre de traitement.

Moins de complexité, un risque de contamination réduit
La conception entièrement scellée par des joints métalliques élimine le besoin d’un capteur de pression relative à joint en élastomère. À la place, la pression différentielle est calculée à partir de la pression de la chambre et de la pression ambiante, garantissant une étanchéité maximale à l’hélium et un déclenchement fiable de l’ouverture de la porte lors de l’égalisation de pression.
La compensation de température individuelle de chaque capteur garantit une excellente stabilité à long terme et une reproductibilité élevée.
Résultat : une stabilité maximale du processus, sans compromis.

Intégration rapide, utilisation flexible
Grâce à des interfaces telles que RS485, EtherCAT et PROFINET, le VSL s’intègre parfaitement aux systèmes existants. Deux points de commutation de relais librement configurables peuvent être affectés à n’importe quelle fonction du capteur, comme la détection de l’égalisation de pression entre le sas de chargement et l’environnement.

Un écran LCD rétroéclairé en option permet la lecture directe de la pression au point de mesure.