Mesure de wafer sans contact/Le capteur ligne au service du contrôle nanométrique

Aujourd''hui, Precitec permet, avec le nouveau capteur ligne CHRocodile CLS, un contrôle plus de 200 fois plus rapide qu''avec un capteur point standard. Le CLS permet donc à la fois un contrôle nanométrique et rapide.

Les données brutes délivrées par le capteur peuvent être post-traitées dans le but de détecter des schémas et des structures périodiques mais aussi leur forme, hauteur, profondeur (Bumps, grooves etc…).