Park Systems annonce le Park NX-Mask, une réparation de photomasque pour l'EUV et le In-Line

Système de réparation de photomasques pour la réparation de masques EUV haut de gamme

Park Systems, l'un des principaux fabricants mondiaux de microscopes à force atomique, a annoncé le lancement de Park NX-Mask, l'équipement de réparation de photomasques de nouvelle génération le plus efficace, le plus sûr et le plus performant.

Le Park NX-Mask offre des solutions optimisées qui prennent en charge les doubles pods pour le traitement des masques EUV dans la production en ligne. Il fournit une solution tout en un - de l'examen automatique des défauts à la réparation des défauts et à la vérification de la réparation - accélérant le débit avec une efficacité de réparation sans précédent

"Park NX-Mask est le système de réparation de photomasques basé sur l'AFM le plus avancé pour la fabrication de semi-conducteurs EUV haut de gamme ainsi que pour la R&D et les ateliers de masques. De plus, c'est le système le plus abordable du marché", a déclaré Richard Lee, chef de la division marketing produit de Park Systems.

Park NX-Mask répare même les photomasques les plus difficiles en éliminant les défauts et les particules étrangères avec une précision de l'ordre du nanomètre et de l'angström pour le placement des bords. Il le fait sans perturber le motif de la surface réfléchissante et les dépôts parasites, y compris les taches et les éléments implantés.

L'examen automatique des défauts est standard dans Park NX-Mask, une fonctionnalité pratique pour les réticules de masque EUV, pour un débit élevé, une haute résolution et sans les risques destructifs posés par d'autres méthodes, y compris le faisceau électronique et le laser. En outre, le Park NX-Mask offre une nanométrologie AFM entièrement automatisée pour la rugosité de surface et la hauteur de pas des motifs. Il le fait avec une précision verticale inférieure à l'angström en mode de balayage sans contact.

Pour plus d'informations sur le Park NX-Mask : http://parksystems.com/nx-mask/