Park Systems présente la spectroscopie infrarouge Park NX-IR R300 pour l'industrie des semi-conducteurs

Park NX-IR R300, un système de spectroscopie infrarouge (IR) à l'échelle nanométrique pour les applications industrielles.

Park Systems, l'un des principaux fabricants de systèmes de microscopie à force atomique (AFM) et de nano-métrologie, a présenté son tout dernier produit, le Park NX-IR R300, un système de spectroscopie infrarouge (IR) à l'échelle nanométrique pour les applications industrielles.

Park NX-IR R300 est une spectroscopie infrarouge et une microscopie à force atomique intégrées en une seule, pour des tranches de semi-conducteur jusqu'à 300 mm. Il fournit des informations sur les propriétés chimiques ainsi que des données mécaniques et topographiques pour la recherche sur les semi-conducteurs, l'analyse des défaillances et la caractérisation des défauts à une résolution nanométrique élevée sans précédent.

Park NX-IR R300 combine la spectroscopie IR la plus avancée de la microscopie à force photo-induite (PIFM) sur la plate-forme AFM Park NX20 300 mm leader de l'industrie. La spectroscopie PIFM fournit une identification chimique sous une résolution spatiale de 10 nm. Il utilise une technique sans contact qui offre un sondage par spectroscopie sans dommage, la résolution et la précision les plus élevées tout au long des balayages. De plus, le Park PIFM fournit à l'utilisateur des informations de spectroscopie à différentes profondeurs, offrant un aperçu inestimable de la composition de l'échantillon.

« Le Park NX-IR R300 est une avancée majeure dans notre portefeuille de solutions de nano-métrologie », a déclaré le Dr Sang-il Park, PDG de Park Systems. "Cela représente notre expansion continue dans de nouveaux domaines d'innovation pour les outils de microscopie nanométrique destinés aux ingénieurs et scientifiques de l'industrie et des laboratoires de recherche. Nous sommes convaincus que Park NX-IR R300 deviendra un outil essentiel pour les clients industriels qui ont besoin d'analyser la composition chimique de leurs matériaux au plus haut niveau de précision."

Pour plus d'informations sur Park NX-IR R300, veuillez visiter https://www.parksystems.com/products/industrial/infrared-spectroscopy/park-nx-ir