Park SmartLitho - Une nouvelle approche pour le nanopatterning à l'aide de la lithographie AFM

Nouveau logiciel de nanolithographie de Park Systems pour la lithographie sur des échantillons ferroélectriques.

Dans cette note d'application, vous découvrirez les capacités de #SmartLitho, un nouveau logiciel de nanolithographie de Park Systems pour la lithographie sur des échantillons ferroélectriques en modélisant les domaines locaux d'un film PZT (titanate de plomb et de zirconium) sur des tranches de silicium. L'étude démontre que la nanostructuration par nanolithographie AFM, en particulier la structuration par oxydation sur des substrats de silicium et Park SmartLitho, offre un potentiel important pour la modification personnalisée de la surface des nanocapteurs ainsi que des nanodispositifs pour la recherche et l'industrie des semi-conducteurs.