【Application dans l'industrie des semi-conducteurs】Solutions de perçage de trous par ultrasons pour les matériaux durs et cassants

Machine-outil à ultrasons + Foret PCD solide

Stimulé par le développement rapide des technologies modernes, le marché des semi-conducteurs se développe chaque jour davantage. Suivant cette tendance, la Chine et d'autres grands pays du monde prennent des mesures importantes pour stimuler la production de semi-conducteurs, en essayant de répondre à la demande croissante de puces à haute valeur ajoutée grâce à leurs propres capacités de R&D et de fabrication.

Compte tenu de leur importance dans la fabrication haut de gamme, les pièces de semi-conducteurs ont des exigences élevées en matière de qualité de surface des pièces et de précision au niveau nanométrique. Comme la plupart des composants de traitement des semi-conducteurs sont constitués de matériaux durs et cassants, l'écaillage, la courte durée de vie des outils et la faible efficacité sont les défis communs auxquels sont confrontés la plupart des fabricants.

Et c'est là que les machines-outils à ultrasons, les outils de coupe à micro-arête en PCD massif et les porte-outils à ultrasons de précision de Conprofe entrent en scène. Nos tonnes d'exemples d'applications réussies et nos années d'expérience démontrent l'excellente performance de nos solutions hybrides, en particulier dans le perçage de micro-trous. Les clients bénéficient d'un temps de cycle plus court, d'une meilleure qualité, d'un rendement plus élevé et d'une production plus stable.

[Partage de cas]

Applications de la solution d'usinage par ultrasons de Conprofe :

1.Perçage de micro-trous dans une pomme de douche en silicium monocristallin

Mots clés : Perçage de micro-trous profonds

Pièce à usiner : Pomme de douche en silicium monocristallin

Dimension du trou : D0,48x18mm (rapport profondeur/diamètre 37,5:1)

Défi à relever :

- Impossibilité de répondre aux exigences d'usinage de trous profonds

Solution :

Centre de gravure et de fraisage de précision par ultrasons Conprofe ULM-600

+ Micro-foret Conprofe Solid PCD

Avantages :

✓ Éclats à l'entrée des trous＜0,03mm

✓ Précision de la position＜0.01mm

✓ Durée de vie de l'outil jusqu'à plus de 1 000 trous

2.Perçage de micro-trous pour pomme de douche en verre de quartz

Mots clés : Perçage efficace de trous borgnes

Pièce à usiner : Pomme de douche en verre de quartz de dureté HV700

Dimensions : D280mm

Exigences en matière de trous : Trous borgnes D0.5x5.0mm répartis uniformément (rapport profondeur/diamètre 10:1)

Défis :

-Faible efficacité de l'usinage

-Ébrèchement des bords du trou

Solution :

Centre de fraisage de précision par ultrasons Conprofe UGM-500

+ Foret PCD solide Conprofe

Avantages :

✓ Usinage en continu de 1 200 trous (D0,5x5mm, rapport profondeur/diamètre 10:1）avec

ONE Solid PCD Drill

✓ Temps de cycle réduit de 72% (de 270s à 75s)

✓ Paroi du trou lisse avec réduction de 68% de l'écaillage (de 0,13mm à 0,13mm)

3. Perçage de trous étagés en carbure de silicium (SiC) Showehead

Mots clés : Perçage de micro-trous dans un matériau dur et cassant

Pièce à usiner : Pomme de douche en carbure de silicium de dureté HV1,800

Dimensions des trous : D0,5x6,5mm/D1x6,5mm

Défis :

-Dureté élevée du matériau et problème d'écaillage

-Petit diamètre de trou et rapport profondeur/diamètre élevé

forte dépendance vis-à-vis des technologies d'usinage importées

Solution :

Centre de fraisage de précision par ultrasons Conprofe ULM-500

+ Foret PCD solide Conprofe

Avantages :

✓ Usinage continu et stable de 100 micro-trous

✓ Excellente qualité de la paroi du trou (écaillage＜0,02mm)

4. Perçage de trous de pomme de douche en silicium monocristallin

Mots clés : Perçage consécutif de plus de 6 000 trous dans un matériau dur et cassant

Pièce à usiner : Pomme de douche en silicium monocristallin

Dimensions des trous : D0.65X15mm, rapport profondeur/diamètre 23:1

Défis à relever :

- Problème d'écaillage

- Faible précision d'usinage

- Durée de vie courte de l'outil

Solution :

Centre de fraisage de précision à ultrasons Conprofe ULM-600

+ Foret PCD solide Conprofe

Avantages :

✓ Pas d'écaillage sur les bords des trous

✓ Amélioration significative de la précision dimensionnelle et de la position

✓ Usinage continu et stable de 1 200 trous

✓ Durée de vie de l'outil dépassant 6 000+ trous

Pas de copeaux au bord du trou

5. Perçage de trous de douche en oxyde d'aluminium (Al₂O₃)

Mots clés : Perçage de trous dans un matériau dur et cassant

Pièce à usiner : Pomme de douche en oxyde d'aluminium de dureté HV1,400

Dimensions : D0,5x3,2mm/D1x5,8mm

Défi :

- Durée de vie courte de l'outil

Solution :

Centre de fraisage de précision par ultrasons Conprofe ULM-400

+ Foret Conprofe Solid PCD

Avantages :

✓ Excellente qualité de surface de la paroi du trou et précision dimensionnelle

✓ Amélioration de la durée de vie de l'outil de 34 %

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