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Dépôt de couches minces : réguler le gaz réactif ligne par ligne
Réguler chaque ligne en amont montre et arrête la dérive qu'une jauge de chambre ne voit pas.
En dépôt réactif, une jauge de chambre ne lit que la pression totale : elle ne montre pas qu'une ligne de gaz réactif à faible débit a dérivé, et la composition du film change sans qu'on le voie. Réguler chaque ligne en amont règle le problème : des régulateurs de débit massique à pression différentielle laminaire gèrent la ligne de travail en argon ou hélium et la ligne réactive en oxygène, azote ou hydrocarbure, avec une répétabilité de ±(0,1 % de la lecture + 0,02 % de la pleine échelle), une réponse de régulation dès 30 ms et une plage de régulation de 10 000:1. Chacun fournit débit massique, débit volumique, pression absolue et température, et 98 à 130 étalonnages de gaz se choisissent sur site. Aux pressions de procédé plus élevées, un régulateur de pression entre la chambre et la pompe tient la contre-pression jusqu'à quelques Torr.
