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Bancs de vérification de panneaux de gaz : une échelle de références qui tient 1 % de la lecture
Une échelle de débitmètres laminaires couvre de quelques SCCM à des milliers de SLPM dans une même famille.
Avant qu'un panneau de gaz ou un régulateur de débit massique parte vers un outil de dépôt ou de gravure, chaque voie est vérifiée contre une référence et l'ensemble est testé en étanchéité. Les intégrateurs exigent en général au moins 1 % de la lecture sur toute la plage, et une seule référence ne peut pas couvrir environ cinq décades. Une échelle de débitmètres à pression différentielle laminaire, chacun utilisé seulement là où il tient 1 %, couvre de quelques SCCM à des milliers de SLPM dans une même famille, avec ±0,5 % de la lecture ou ±0,1 % de la pleine échelle et une répétabilité de ±(0,1 % de la lecture + 0,02 % de la pleine échelle). Un débitmètre de faible plage mesure des fuites de quelques dizaines de SCCM, et un manomètre à ±0,125 % de la pleine échelle lit le test de chute de pression. Quand le banc doit imposer un débit, un régulateur s'installe avec le même encombrement et la même interface.
