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Outils de métrologie et d'inspection : débits de purge et pressions de chambre stables
Des débits de purge et des pressions de chambre stables évitent que la ligne de base de la mesure se décale.
Dans les outils de métrologie et d'inspection, une petite dérive d'une purge optique, d'un débit de gaz porteur ou d'une pression de chambre décale la ligne de base de la mesure, et la moyenne ne la corrige pas. Un régulateur de débit massique à pression différentielle laminaire transforme une restriction fixe en un point mesuré qui rend compte de lui-même : il fournit débit massique, débit volumique, pression absolue et température dans un seul appareil, est prêt en moins d'une seconde et régule de 0,01 à 100 % de la pleine échelle. Pour les chambres fermées, un régulateur de pression à deux vannes tient la pression avec précision, y compris sous vide. Les régulateurs à faible perte de charge conviennent aux purges à faible pression d'entrée, et les débitmètres portables vérifient les débits sur site.