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Substrats en nitrure d'aluminium rodés et polis

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Feuille céramique en nitrure d'aluminium

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INNOVACERA fournit des substrats en nitrure d'aluminium (AlN) meulés, rodés et polis destinés aux circuits à couche mince, aux supports de diodes laser, à la photonique et à la métallisation de précision. La conductivité thermique que nous proposons est de 170, 200 et 230 W/m·K, avec des dimensions maximales de 138 × 190 mm. Pour les applications nécessitant une surface fine, un polissage de précision est disponible jusqu’à Ra ≤ 0,05 μm, avec des dimensions, des épaisseurs et des fentes sur mesure.

La finition de surface des substrats AlN peut être choisie en fonction du processus en aval. INNOVACERA propose des services de meulage, de rodage fin, de polissage et de polissage de précision, ainsi que des épaisseurs, dimensions et caractéristiques d’usinage sur mesure pour répondre aux différentes exigences des applications.

Planéité, gauchissement et TTV
La planéité et le TTV sont spécifiés en fonction de la taille du substrat, de son épaisseur et de la méthode de mesure. Pour les applications de précision, les exigences peuvent être évaluées par rapport au plan du client et à une zone d’inspection définie. Un gauchissement inférieur à 0,3 % est disponible sur certaines configurations de production.

Rugosité de surface
Le meulage présente une rugosité Ra de 0,3 à 0,6 μm. Le rodage fin, de 0,1 à 0,4. Le polissage atteint une valeur inférieure à 0,10, et le polissage de précision, 0,05 et moins. Un substrat destiné uniquement à dissiper la chaleur peut se contenter d’un meulage. Le meulage d’un support LD ou d’un circuit à couche mince n’est pas suffisant, car l’étape suivante, qu’il s’agisse de dépôt, de lithographie ou de fixation de puce, ne se limite pas à la surface. Les substrats en AlN destinés au traitement en couche mince, au DPC et à la métallisation de précision nécessitent généralement une surface rodée ou polie avant le traitement ultérieur par le client.

Inspection
L’inspection peut porter sur les dimensions, l’épaisseur, la rugosité, le gauchissement, la planéité et la qualité des bords. La densité, la conductivité thermique et d’autres propriétés des matériaux peuvent être vérifiées en fonction des exigences du projet. Des rapports d’inspection sont disponibles pour les programmes de production lorsque cela est nécessaire.