Qu'est-ce que le TTV, le Bow, le Warp dans les plaques semi-conductrices ?

Qu'est-ce que le TTV, le Bow, le Warp dans les plaques semi-conductrices ?

Dans la fabrication des plaquettes, le TTV, le Bow et le Warp sont des paramètres essentiels qui déterminent la planéité et l'uniformité de l'épaisseur des plaquettes, ce qui a un impact significatif sur les processus critiques de fabrication des puces.