Céramiques BN pour les systèmes PVD ALD et CVD

Céramiques BN pour les systèmes PVD ALD et CVD

En ce qui concerne les techniques de dépôt, il convient de mentionner le dépôt physique en phase vapeur (PVD), le dépôt par couche atomique (ALD) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui sont fondamentaux pour la fabrication de composants de haute précision pour les semi-conducteurs, l'électronique, l'aérospatiale et bien d'autres encore. La polyvalence et les propriétés des céramiques à base de nitrure de bore (BN) en font des composants essentiels des systèmes de dépôt en phase vapeur (PVD), de dépôt en phase vapeur (ALD) et de dépôt en phase vapeur (CVD). J'aimerais parler ici du rôle des céramiques à base de nitrure de bore dans ces systèmes.