Pièces en céramique de nitrure de bore (BN) pour chambres à plasma

Pièces en céramique de nitrure de bore (BN) pour chambres à plasma

Le nitrure de bore est souvent appelé "graphite blanc" car il présente une structure de couches similaire à celle du graphite. Ils possèdent d'excellentes propriétés de résistance aux températures élevées, notamment une rigidité diélectrique et une conductivité thermique élevées, ainsi qu'une excellente inertie chimique, ce qui permet de relever les défis posés par certains des domaines d'application les plus exigeants.

Les céramiques à base de nitrure de bore (BN) sont uniques dans les environnements plasma en raison de leur résistance à la pulvérisation et de leur faible propension à générer des ions secondaires, même en présence de champs électromagnétiques puissants. La résistance aux pulvérisations permet de prolonger la durée de vie des composants, tandis que la faible génération d'ions secondaires contribue à maintenir l'intégrité de l'environnement plasma. C'est pourquoi les céramiques de nitrure de bore (BN) sont largement utilisées pour confiner l'arc plasma dans la chambre de pulvérisation sur le matériau cible et empêcher l'érosion des composants intégraux dans la chambre de traitement.