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Avantages des céramiques utilisées dans les implanteurs ioniques

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Avantages des céramiques utilisées dans les implanteurs ioniques

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En tant qu'équipement de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs, les implanteurs ioniques doivent répondre à des exigences très élevées en matière de performance des matériaux.

En tant que composants importants, les accessoires en céramique jouent un rôle vital dans les implanteurs d'ions.

A.Caractéristiques de base des accessoires d'implants ioniques et des accessoires en céramique

Les accessoires d'implanteurs ioniques sont principalement constitués de nitrure de silicium de haute pureté, de carbure de silicium (SiC), d'alumine, de céramique microporeuse alumine/carbure de silicium, de nitrure d'aluminium (AIN), de saphir et d'autres matériaux céramiques, et présentent les caractéristiques suivantes :

1. Dureté et résistance élevées : Les raccords en céramique ont une dureté et une résistance élevées, ce qui leur permet de supporter des charges et une usure importantes pendant l'implantation ionique.

2. Stabilité thermique élevée : Les raccords en céramique ont un point de fusion élevé et peuvent maintenir des performances stables dans des environnements à haute température.