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Pièces céramiques composites en nitrure d'aluminium/nitrure de bore BN-AlN pour source d'ions
Pièces céramiques composites en nitrure d'aluminium/nitrure de bore BN-AlN pour source d'ions
La céramique BN-AlN est obtenue par frittage de poudre de nitrure de bore (BN) et de nitrure d'aluminium (AIN). Elle possède d'excellentes propriétés d'isolation électrique, de conductivité thermique, de solidité, de résistance aux chocs thermiques et de forte résistance au plasma de gaz halogène, ce qui lui permet d'offrir une large gamme d'applications, notamment des composants pour les équipements de production de semi-conducteurs et des composants qui nécessitent une dissipation thermique efficace.
La source d'ions est un dispositif qui crée des ions atomiques et moléculaires dans la chambre à vide. Le composite nitrure d'aluminium/nitrure de bore possède d'excellentes propriétés d'isolation électrique, de conductivité thermique, d'étanchéité au vide et ne dégage pas beaucoup de gaz. Il joue donc un rôle de dissipateur thermique et de plaque de transfert thermique dans les sources d'ions.
