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Substrats de nitrure d'aluminium (AlN)
Substrats de nitrure d'aluminium
Le cristal AIN est un composé à liaison covalente dont l'unité structurelle est le tétraèdre [AIN4]. Il a une structure de wurtzite et appartient au système cristallin hexagonal.
ALN avec des propriétés isolantes exceptionnelles et une conductivité thermique extrêmement élevée. En outre, le nitrure d'aluminium a la particularité de ne pas être attaqué par l'aluminium liquide et d'autres métaux fondus et par l'arséniure de gallium, et présente en particulier une excellente résistance à la corrosion de l'aluminium liquide fondu.
Avantages des substrats de nitrure d'aluminium
Une conductivité thermique très élevée
Alternative non toxique au BeO
Faible dilatation thermique similaire à celle des semi-conducteurs en Si, GaN et GaAs
Une force diélectrique élevée