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Table à mandrin en céramique poreuse utilisée dans les équipements de semi-conducteurs

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Table à mandrin en céramique poreuse

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La table à mandrin en céramique poreuse est un élément si important dans les équipements de semi-conducteurs tels que le traitement des plaquettes de silicium.

Les tables de serrage en céramique poreuse sont largement utilisées comme composants importants d'équipements dans les tranches de silicium, les tranches de composés semi-conducteurs, la céramique piézoélectrique, le verre, les LED, le substrat des composants de boîtiers semi-conducteurs, l'amincissement des composants optiques, la découpe, etc.

Les avantages sont notamment les suivants :

Forte perméabilité : Perméabilité uniforme à l'air et à l'eau pour assurer une contrainte uniforme et une adsorption ferme de la plaquette de silicium, afin qu'elle ne glisse pas pendant le processus de broyage.

Structure compacte et uniforme : En raison de la céramique microporeuse dense et uniforme, la table à mandrin n'est pas facile à adsorber les abrasifs de la poudre de silicium et est facile à nettoyer.

Haute résistance : Pas de déformation pendant le meulage, afin que la plaquette de silicium soit uniformément sollicitée en tous points pendant le meulage, et qu'elle ne soit pas facilement cassée par les arêtes et les débris.

Longue durée de vie : La forme de la surface est bonne, le cycle de dressage est long et la quantité de dressage est faible, ce qui lui confère une longue durée de vie.

Facile à réparer : Il n'y a pas de fissures, de copeaux, de battage pendant l'usinage.