Technologie de rf sans compromis

Un bon degré d'efficacité combiné avec une conception robuste étaient deux demandes des alimentations d'énergie de processus de rf qui n'avaient pas été des utilisateurs de met. ont eu le choix entre l'écurie, mais les générateurs moins efficaces avec la technologie d'amplificateur de la classe A/B ou les alimentations d'énergie efficaces pourtant sensibles avec une alimentation d'énergie de commutateur-mode de la classe E.

Maintenant, avec le TruPlasma rf 3012, plus de compromis ne sont nécessaires. Ce nouveau générateur à haute fréquence de HÜTTINGER Elektronik démontre un degré de 80 pour cent d'efficacité, qui le rend unique au marché et il est également extrêmement robuste et fiable. C'est dû possible à une topologie innovatrice de convertisseur de la classe D combinée avec une technologie à haute fréquence brevetée d'accouplement de puissance.

Le TruPlasma rf 3012 a un de puissance de sortie de 12 kilowatts avec une fréquence de 13.56 mégahertz et approprié idéalement à PECVD, gravure à l'eau-forte et le rf pulvérisent des processus dans les industries à panneau plat d'affichage, solaires et de semi-conducteur. L'utilisateur peut concevoir ces étapes de production très efficacement avec le TruPlasma rf 3012, de ce fait réalisant des économies significatives.

La topologie innovatrice de convertisseur mène au rendement élevé

Le TruPlasma rf 3012 est équipé d'une topologie innovatrice de convertisseur de la classe D qui permet un degré de 80 pour cent d'efficacité. Par rapport aux alimentations d'énergie précédentes qui ont un degré de 60 pour cent d'efficacité, le TruPlasma rf 3012 démontre une perte de puissance réduite par moitié. « Dans un typique

Le système enduisant de PECVD, dans lequel des enduits passifs de SiNX sont appliqués aux piles solaires gaufrette-basées, un générateur court souvent 22 heures par jour, 355 jours par an. À courant puissance prix, l'efficacité accrue produit des économies d'approximativement 3.500 euros par an par alimentation d'énergie, « a dit Ulrich Ambrosy, directeur de gestion du produit à HÜTTINGER Elektronik. « Ce potentiel de l'épargne est particulièrement significatif si vous imaginez qu'un tel système a fréquemment plusieurs chambres de processus, qui est équipé de plusieurs alimentations d'énergie. La réduction en frais d'exploitation ici est tout à fait significative. »

La réduction de la perte de puissance signifie également que le TruPlasma rf 3012 a un besoin réduit de refroidissement. Ceci ouvrent l'épargne additionnelle potentielle dans l'utilisation de l'eau de refroidissement et les investissements réduits d'infrastructure. Enfin et surtout, le degré élevé d'efficacité contribue à l'adhérence aux buts d'émissions de CO2 dans la production, apportant une contribution importante à la protection de l'environnement.