NOUVEAU : bâti antivibration/amortisseurs de vibration actifs par TMC

STACIS® III est le système d'annulation de vibration actif le plus avancé. Utilisant les sondes à inertie avancées de vibration, les algorithmes de commande sophistiqués, et les déclencheurs piézoélectriques du dernier cri, vibration d'annulations de STACIS en temps réel en mesurant sans interruption les déclencheurs piézoélectriques d'activité de plancher, puis d'expansion et d'adjudication pour filtrer dehors le mouvement de plancher.

A au commencement conçu pour isoler le microlithography de précision, métrologie, et l'équipement d'inspection dans les usines avancées de semi-conducteur, STACIS est maintenant la solution industriellement compatible pour les instruments les plus sensibles dans les environnements bruyants, incluant mais non limitée aux fabs de semi-conducteur, aux laboratoires d'analyse d'échec, à la recherche en matière de nanotechnologie, aux équipements de nanofabrication, et à la recherche de matériaux.

STACIS III inclut un contrôleur numérique nouveau et amélioré, le DC-2020. Avec un nouveaux processeur et Ethernet de duel-noyau aussi bien que les portes série d'USB sur les panneaux plan et arrière, ce nouveau système de contrôle avancé fournit à l'utilisateur une interface utilisateurs graphique moderne et facile à utiliser (GUI).

Avec des centaines d'installations réussies dans le monde entier, STACIS est le système idéal d'annulation de vibration pour les instruments vibration-sensibles.