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Principes de la microscopie électronique à balayage

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Explication des principes et de l'instrumentation de la microscopie électronique à balayage, y compris les signaux électroniques, le faisceau d'électrons et la colonne d'électrons.

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Les microscopes électroniques à balayage (MEB) utilisent un faisceau d'électrons pour obtenir des images d'échantillons avec une résolution de l'ordre du nanomètre. Les électrons sont émis par un filament et collimatés en un faisceau dans la source d'électrons. Le faisceau est ensuite focalisé sur la surface de l'échantillon par un ensemble de lentilles dans la colonne d'électrons. Comment fonctionne une lentille électronique ? Quels sont les types de lentilles existants ? Comment les lentilles sont-elles combinées pour former une colonne d'électrons ? Dans cet article, nous répondrons à ces questions et donnerons un aperçu général du principe de fonctionnement d'une colonne d'électrons :