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SONOTEC présente une série de débitmètres compacts pour les applications dans le domaine des semi-conducteurs lors de la conférence ICPT

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Du 15 au 18 octobre 2024, la 19e conférence internationale sur la planarisation / technologie CMP se tient à Wiesbaden, en Allemagne. SONOTEC présente sa série de capteurs compacts SEMIFLOW® conçus pour la mesure sans contact du débit des liquides.

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Pour la première fois, SONOTEC participe à la conférence internationale sur la planarisation et la technologie CMP (ICPT) à Wiesbaden, en Allemagne. En tant qu'un des sponsors de l'événement, le spécialiste des ultrasons présente ses débitmètres compacts et ses détecteurs de bulles d'air sur le stand 25 aux professionnels des semi-conducteurs présents.

Axée sur la planarisation/polissage chimico-mécanique (CMP), la conférence offre d'excellentes opportunités de discussions sur les technologies, les principes fondamentaux de la CMP, les processus de polissage, les consommables, les équipements ainsi que les équipements respectueux de l'environnement et les nouvelles applications, la métrologie, le nettoyage, le contrôle des défauts, le contrôle des processus et bien d'autres choses encore. La conférence est l'événement idéal pour que les chercheurs et les ingénieurs se rencontrent, discutent et partagent leurs expériences dans leur domaine de connaissances.

Afin de mesurer et de contrôler efficacement le transfert et la distribution de produits chimiques et d'autres liquides dans une usine, SONOTEC a développé la série de débitmètres SEMIFLOW, compacte et robuste, qui répond aux exigences particulières du marché des semi-conducteurs. Cette série de capteurs de pointe peut être utilisée, par exemple, pour mesurer la distribution de boue dans les processus CMP et pour contrôler le volume de remplissage des processus de gravure dans les lignes de banc humide. Le leader de la technologie de mesure sans contact par ultrasons présentera à la conférence sa large gamme de capteurs de débit sans contact précis et fiables et de détecteurs de bulles d'air.

"Les données des capteurs en temps réel peuvent être utilisées pour améliorer l'efficacité des processus, la fiabilité et la qualité des produits, ce qui se traduit en fin de compte par de meilleurs résultats de fabrication et des économies. Par exemple, la surveillance en temps réel des paramètres critiques du processus, tels que le débit, permet de maintenir la stabilité du processus et la qualité du produit. En outre, les modèles de données des capteurs peuvent détecter des signes précurseurs de dégradation ou de dysfonctionnement de l'équipement, permettant des interventions de maintenance proactives afin d'éviter des temps d'arrêt coûteux et des rejets de production", explique Anika Baumhauer, directrice internationale de la stratégie et des ventes chez SONOTEC.

Les capteurs de débit SEMIFLOW mesurent de manière fiable les liquides abrasifs, adhérents, corrosifs et ultra-purs sur les tubes et tuyaux en plastique rigide spécifiques à l'industrie. L'architecture sans contact à clamper élimine tout risque de contamination et de fuite. Les capteurs à ultrasons conviennent donc aux processus de fabrication de semi-conducteurs très sensibles qui exigent une précision et une stabilité maximales. En outre, la méthode de mesure sans contact n'entraîne aucune usure du capteur ; les capteurs ultrasoniques à pince ne nécessitent aucune maintenance.

Le matériau robuste du capteur permet un long cycle de vie du produit et leur consommation d'énergie minimale garantit de faibles coûts d'exploitation. Les débitmètres sans contact peuvent donc contribuer aux stratégies de développement durable dans les usines. Les capteurs SEMIFLOW se caractérisent également par leur boîtier compact avec électronique intégrée. Ils nécessitent peu d'espace dans l'usine et peuvent être facilement intégrés dans les chaînes de processus et les architectures existantes. SONOTEC propose la série SEMIFLOW en différentes tailles pour couvrir une large gamme de diamètres de tubes en PFA, PTFE et autres plastiques durs.

Afin de mesurer les débits dans des environnements dangereux, SONOTEC propose la série de capteurs SEMIFLOW CO.66 PI Ex1. Les débitmètres à ultrasons à sécurité intrinsèque sont conçus pour fonctionner en toute sécurité dans les zones de production classées Zone 1 selon ATEX/IECEx. Les capteurs sont protégés contre les risques d'explosion causés par les gaz et les vapeurs conformément aux normes du groupe de gaz IIB ; le niveau de protection de l'équipement (EPL) est "Gb".

Rencontrez SONOTEC à l'ICPT à Wiesbaden, Allemagne, du 15 au 18 octobre 2024 au stand #25.