L'interféromètre différentiel à angle de déplacement capture plusieurs degrés de liberté

Actuellement, les méthodes de mesure utilisées dans la fabrication industrielle atteignent les limites de ce qui est techniquement faisable.

Les experts SIOS développent une technologie de mesure de haute précision pour déterminer avec précision le positionnement ou les modifications de surface avec des tolérances de l'ordre du nanomètre voire du picomètre par exemple.

Avec les mêmes exigences de précision de mesure, peu importe qu'une mesure soit effectuée dans un espace minimal sur les plus petites distances sur un wafer ou sur une distance de plusieurs mètres sur de gros objets. De plus, la complexité des tâches de mesure augmente, telles que le contrôle de position des tables x-y, les mesures de dilatation thermique des matériaux, les enquêtes sur le comportement de fluage et de dérive des objets, les mesures d'indice de réfraction, les mesures de longueur et d'angle de haute précision, et bien d'autres.

Les mesures de haute précision dans les salles blanches et les chambres à vide ou l'utilisation d'une technologie de mesure de haute précision dans un environnement industriel souvent difficile posent des défis particuliers aux spécialistes des technologies de mesure d'aujourd'hui. Ici, par exemple, des facteurs tels que l'évolution des influences thermiques et physiques de l'environnement, garantissant la répétabilité stable de plusieurs mesures, mais aussi les exigences de la production industrielle de masse, l'efficacité, le volume d'investissement et la rentabilité comptent.

La demande croissante de solutions adaptées a mis à l'épreuve la capacité d'innovation et le savoir-faire des spécialistes SIOS. Le résultat est une solution unique : l'interféromètre différentiel d'angle de déplacement.

Les développeurs ont réussi à combiner les avantages techniques de l'interféromètre laser différentiel SP 5000 DI et de l'interféromètre à triple faisceau SP 5000 TR dans un nouvel instrument de mesure. L'interféromètre différentiel à angle de déplacement SP 5000 DI-TR est spécialement conçu pour répondre aux exigences croissantes de l'industrie manufacturière décrites ci-dessus. Avec l'interféromètre différentiel à angle de déplacement, il est possible d'effectuer des mesures simultanées stables à long terme de plusieurs degrés de liberté en même temps, même sur de plus longues distances, en compensant les facteurs environnementaux.