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Moniteur d'épaisseur de film
Mesure du type de LED
Ceci, FTM, Film Thickness Monitor est publié pour les films sur semi-conducteurs tels que IGBT, Chiplet, ainsi que
Cellule PV, mesure de film de panneau LCD. Il peut mesurer le niveau du nano-micron jusqu'au film de 300 microns sur la plaquette.
Ce modèle utilise une lumière LED ainsi qu'une lampe halogène.