Application de l'alimentation haute tension au faisceau d'ions

Spécification de l'application

Faisceau d'ions

Un faisceau d'ions est un faisceau produit par l'accélération d'ions à grande vitesse. Les ions sont des atomes ou des groupes d'atomes chargés positivement ou négativement. L'accélération des ions est le mouvement des ions vers leur destination en appliquant une tension arbitraire. L'impulsion de l'accélérateur est proportionnelle à la tension appliquée. Selon l'application du transfert d'ions, les électrodes qui appliquent une tension sont l'électrode d'accélération, l'électrode d'extraction, l'électrode de suppression, l'électrode de déviation, l'électrode de déviation, etc. Elles sont utilisées dans les moteurs à ions, la pulvérisation par faisceau d'ions, l'implantation d'ions, le faisceau d'ions focalisé (FIB) et les accélérateurs. Afin d'éviter que le potentiel à l'intérieur du dispositif ne soit biaisé vers le potentiel de l'ion accéléré, il est possible, dans certains cas, qu'il soit électriquement neutralisé par l'accélération des ions pour produire des ions.

Pour générer un faisceau d'ions pour le FIB, on utilise une source d'ions à métal liquide (LMIS) composée de fils de tungstène en forme d'aiguille reliés à du gallium. Lorsque le filament est chauffé et qu'une tension est appliquée à l'électrode d'extraction, un faisceau d'ions est généré à partir de la pointe. Les ions résultants sont alors contrôlés par les champs électriques et magnétiques de l'accélérateur, formant un flux directionnel étroit. Le contrôle du faisceau d'ions est utilisé pour le balayage du faisceau d'ions. Les ions extraits de la source d'ions sont focalisés par une lentille condensatrice (CL) et le faisceau d'ions est balayé par un déflecteur électrostatique. Les faisceaux d'ions sont utilisés dans une large gamme d'applications, telles que l'injection de faisceaux d'ions, le traitement de faisceaux d'ions et la microscopie ionique à balayage (SIM).

Un générateur de faisceaux d'ions se compose d'une source d'ions (canon à ions), d'une lentille électromagnétique dans un accélérateur et d'un déflecteur. Les faisceaux d'ions passent par des accélérateurs pour l'injection d'ions d'impureté dans les semi-conducteurs, le nettoyage de surface par fraisage ionique, le traitement de surface, la modification de la surface et l'analyse de la surface et de l'intérieur. Le faisceau d'ions est accéléré et décéléré dans le vide par un champ électrique et dévié par un champ magnétique.

La séparation de la masse des ions est effectuée en pliant les ions dans un champ magnétique, et l'analyse de l'énergie est effectuée par la méthode du champ électrique décélérant et l'analyse de la déflexion du champ électrique statique.

Wisman propose une large gamme de dispositifs d'alimentation pour l'accélération, l'extraction, la suppression, la déviation, la focalisation, le maillage et la neutralisation des ions. Les alimentations Wisman pour les déflecteurs électrostatiques sont disponibles dans une large gamme de spécifications. Nous proposons notamment des amplificateurs haute tension avec la vitesse de réponse la plus élevée au monde. Grâce à la fonction de polarisation CC, vous pouvez facilement ajuster le point de référence du balayage.

Alimentation du faisceau d'ions :

SEM, HEM, EM