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Mesure unique des traces d'NH₃ dans les applications liées aux semi-conducteurs

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Mesure unique des traces d'NH₃ dans les applications liées aux semi-conducteurs

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Une surveillance environnementale menée dans une usine européenne de semi-conducteurs a permis de détecter la présence d'ammoniac au niveau des sorties du système de traitement de l'ammoniac, ce qui présentait des risques potentiels pour la santé et l'environnement. L'analyseur d'ammoniac SERVOTOUGH Laser 3 Plus, généralement utilisé pour la surveillance des systèmes DeNOx et des émissions, a été testé avec succès dans le cadre de cette nouvelle application, démontrant ainsi la sensibilité et la stabilité requises pour une mesure précise de l'ammoniac.