Technologie hybride de polygone de balayage de Haut-Productivité pour le laser d'USP

Comme chef de technologie pour guider et placer des rayons laser, SCANLAB AG ont présenté une solution hybride intégrée de système de balayage de laser de polygone aux larges assistances à LASYS 2014 à Stuttgart. Ce système de balayage de laser de polygone de haut-dynamique est particulièrement bien adapté pour le traitement ligne par ligne des gaufrettes de silicium de surfaces par exemple par l'intermédiaire des lasers de la haut-répétition USP (ultra-court-impulsion). Le système hybride également a démontré des durées de la transformation matérielles rigoureuses d'une coupe dedans.

Les lasers d'USP sont idéaux pour la micro-informatique à haute précision des composants. L'ablation à froid permet exceptionnellement l'amende et le déplacement matériel visé. Mais pour réaliser la productivité industrie-appropriée, le laser d'USP doit équipe vers le haut avec un module de balayage ultra-rapide capable de placer les différentes impulsions de laser sur un objet sans chevauchements d'impulsion, même aux fréquences du pouls les plus élevées. En principe, la vitesse des polygones de balayage les rend bien adaptés pour séparer de telles impulsions à haute fréquence. Mais les polygones de balayage purs ont des limitations dans l'exactitude et la flexibilité et ont été difficiles à intégrer dans des systèmes de traitement d'USP jusqu'ici.

SCANLAB a éliminé ces inconvénients en développant un système hybride de polygone de balayage combinant la supériorité dynamique des polygones de balayage avec la précision élevée des galvanomètres. « Nos beaucoup d'années d'expertise de galvo ont mené à l'idée de combiner les systèmes. Deux haches de balayage de galvanomètre corrigent maintenant des déviations typiques et les imperfections dans le polygone roulent la symétrie pour réaliser la flexibilité nécessaire pour le traitement Pixel-précis, » explique le PRÉSIDENT Georg Hofner de SCANLAB. « Une grande distance fonctionnante, l'intégration straight-forward de l'axe mécanique d'alimentation et les temps de processus incroyablement courts prédestinent ce système pour des applications industrielles. »

Cette nouvelle technologie approprié également aux dispositifs mobiles, à l'industrie d'électronique et au traitement des composés. Par conséquent, le développement de système a été soutenu par le ministère de Germanys Federal des sciences économiques et de l'énergie. Les systèmes d'essai sont maintenant fournis par SCANLAB.