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De pas fournit la productivité augmentée, soutien amélioré de FOWLP

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De pas ligne du je du FPA-5520iV de Canon réussit le FPA-5510iV qui a été lancé en juillet 2011, et est reconnu pour son exactitude de haute résolution et recouverte.

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L'outil de lithographie de FPA-5520iV offre à gaufrette améliorée de fan la fonctionnalité 2 de niveau du paquet (FOWLP) et est conçu pour aider des utilisateurs à augmenter leur productivité. On s'attend à ce que la technologie de FOWLP est considérée comme une technologie du conditionnement de la deuxième génération qui permet la fabrication d'un système plus mince dans des modules de paquet (petite gorgée) combinant différentes puces de semi-conducteur avec des fonctions variables, telles que des processeurs et la mémoire, et soutienne la réalisation de niveau haut, dispositifs de semi-conducteur de diluant-paquet avec des coûts de bas-production.