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Nanopositioners piézo-électrique DE X/Y pour des applications extrêmes de précision

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Les étapes nanopositioning piézo-électriques de série d'Aerotech QNP-XY fournissent la résolution, les linéarités, la répétabilité, et la dynamique élevée exigée pour les applications les plus exigeantes de la microscopie à l'alignement de systeme optique

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Avec la résolution à 0.15 nanomètre, la linéarité à 0.007%, et la répétabilité à 2 nanomètre, précision de nanomètre-niveau est assurément. Avec la dynamique la plus élevée (fréquence de résonance et rigidité) de n'importe quelle autre étape comparable dans la taille et le voyage, les utilisateurs peuvent réaliser une sortie plus élevée dans des processus harassants.

Une série de voyages (100 ? m à 600 ? m), options de rétroaction, et versions de vide s'ajoutent à la polyvalence exceptionnelle de cette série d'étape.

Qualité dans un paquet compact

Des étapes piézo-électriques de QNP sont guidées par les flexures de précision qui sont optimisées utilisant l'analyse par éléments finis. La conception en résultant offre la rigidité exceptionnelle et la fréquence de résonance (jusqu'à 885 hertz) permettant la sortie de processus élevée et jeûne réponse en circuit fermé. En outre, le paquet DE X/Y intégré réduit au minimum la taille de pile d'étape et la masse mobile, ayant pour résultat l'exécution multiaxe statique et dynamique supérieure.

À haute résolution et plaçant l'exactitude

Toute la rétroaction en circuit fermé facultative d'offre piézo-électrique d'étapes de QNP utilisant une conception capacitive unique de sonde pour la résolution de secondaire-nanomètre et les linéarités élevées. Les sondes capacitives mesurent le rendement de placer le chariot directement, permettant l'exactitude et la répétabilité supérieures.

Commande d'Ultra-Précision

Quand ajouté à Aerotech ? les contrôleurs de Q-séries de s et les commandes, étapes piézo-électriques de QNP démontrent le secondaire-nanomètre plaçant la stabilité de résolution et de dans-position (frousse), et haut-plaçant la largeur de bande. Options de logiciel telles qu'Aerotech ? les paquets de boîte à outils de commandes dynamiques de s et de concepteur de mouvement fournissent un centre serveur d'avancer pourtant les outils faciles à utiliser tels que le contrôle d'étude, l'annulation harmonique, et le commandement formant, fournissant des erreurs de cheminement améliorées et plus rapide étape-et-arrangent des périodes.

Flexibilité de conception

Aerotech ? les étapes piézo-électriques de s QNP sont disponibles avec la rétroaction de sonde de capacité ou sans rétroaction (de boucle ouverte). De boucle ouverte fournit une option rentable pour des applications où la dimension compacte, la haut-dynamique, et le secondaire-nanomètre plaçant la résolution sont exigés, mais l'exactitude et la répétabilité de positionnement absolues ne sont pas exigées. Des conceptions de boucle ouverte peuvent également être employées où la position piézo-électrique est commandée par l'intermédiaire d'une source extérieure de rétroaction (interféromètre, système de vision, détecteur photoélectrique, etc.).

Résumé de produit :

Le voyage s'étend de 100 ? m à 600 ? m

Système d'orientation à haute précision et sans friction de flexure

Positionnement de la résolution à 0.15 nanomètre, à linéarités à 0.007%, et à répétabilité à 2 nanomètre

Versions de boucle ouverte et de vide