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Rapport d'application - lasers Ultra-courts d'impulsion

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des lasers pulsés Ultra-courts ne sont plus utilisés principalement dans les laboratoires des chercheurs de base. Ils sont une partie importante dans l'industrie pour le découpage, finissage de surface et identification de modèle et également en science médicale. En science médicale entre autres ils sont en place pour la détection des cellules de cancer.

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Les microscopes spécialisés combinés avec le laser ultra-court d'impulsion atteignent une résolution plus élevée. Par conséquent il est possible de différer les cellules saines des cellules de cancer.

Dans une installation expérimentale pour la génération des lasers pulsés ultra-courts d'énergie élevée des râpages lithographique produits doivent être ajustés dans quelques nanomètres chacun à l'autre. Ces râpages décomposent et assemblent le laser spectralement. Le degré de liberté de ajustement doit être plus petit que le µrad 70 nanomètre ou 80. Là où la masse réglable peut peser jusqu'à 20 kilogrammes (44 livres), une commande de 5 axes (3 haches rotatoires et 2 de translation) est nécessaire pour ajuster le laser dans ces conditions. En raison de la commande il est possible de surveiller la position de chaque degré de liberté. La position arrêtée doit être écurie à long terme avec des incertitudes de quelques nanomètres. Autrement une installation modulaire est exigée.

Dans une installation expérimentale avec un système hexapode ces caractéristiques n'ont pas pu être réalisées. Les systèmes hexapodes permettent un ajustement multidimensionnel facile mais la stabilité à long terme dans la balance de nanomètre est très difficile. En conséquence le client a décidé contre la solution hexapode.

Pour atteindre la stabilité à long terme exigée la nouvelle solution du piezosystem iéna est très compacte. Dans une première étape de travail toutes 5 haches peuvent être placées dans la figure simple microns. Basé sur l'exactitude des premiers déclencheurs de positionnement de piezo avec une rigidité et une stabilité mais un petit mouvement peut être employé pour l'accord fin. La solution est bien adaptée pour construire dans une manière modulaire.

Avantages de base du dispositif de réglage

conception très stable avec le substrat température-ajusté au râpage

le positionnement approximatif jusqu'au plus bas µm-niveau, le positionnement approximatif est déjà calibré

positionnement fin avec les déclencheurs préchargés de piezo

les forces ponctuelles de tension et de pression fournissent que tension n'influence pas le râpage

des déclencheurs de piezo sont actionnés approximativement avec 25% de la course maximale

temps durable de la vie

réservation suffisante de commande disponible

utilisation des commandes de terrain communal et du contrôleur relatif

remplit des conditions pour un scalability rentable.

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