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#Tendances produits
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Turbopompe HiPace 2800 IL
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Avec le HiPace 2800 IL vide de Pfeiffer présente une turbopompe particulièrement consacrée
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pour des applications d'implantation ionique. La conception sophistiquée de rotor de la turbopompe
résultats dans une vitesse de pompage optimisée pour les gaz légers. Ceci assure très bon
l'adaptation de processus pour des procédés d'implantation ionique, étaient hydrogène est les la plupart
accumulation du gaz. Avec la vitesse de pompage de 2.750 l/s pour l'hydrogène le nouveau HiPace
2800 C'est la meilleure turbopompe dans sa classe.
Le système de gestion intelligent de la température empêche la condensation et le dépôt de processus à l'intérieur du système de pompage. Il laisse placer la température individuellement pour soutenir idéalement le processus. L'enduit spécial du rotor assure la robustesse contre tous les matériaux de procédé d'implantation ionique. Étant basé sur un soi-disant roulement hybride, une combinaison des roulements à billes en céramique sur le côté d'avant-vide et les roulements radiaux de manière permanente magnétiques du côté de vide poussé, ces turbopompes de HiPace ont une conception particulièrement robuste de roulement. En même temps que l'enduit efficace, ceci forme la base pour l'up-time de cycle et de maximum de longue vie des pompes.