Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lance des architectures de systèmes de gaz intégrés de nouvelle génération

Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lance des architectures de systèmes de gaz intégrés de nouvelle génération

SHANGHAI, CHINE – Les installations de fabrication de microélectronique de pointe et les usines de semi-conducteurs de nouvelle génération exigent une précision, une sécurité et une efficacité sans précédent en matière de distribution des gaz de procédé. Afin de répondre à ces exigences strictes de la fabrication moderne, Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) a annoncé le déploiement commercial officiel de ses panneaux de distribution de gaz intégrés de nouvelle génération . Fabriqués dans les salles blanches spécialisées de l'entreprise, situées dans le district de Songjiang à Shanghai, ces panneaux industriels reposent sur des blocs de distribution de gaz automatisés à montage en surface. Ces blocs sont conçus pour optimiser l'agencement des sous-ateliers, minimiser les traces de contaminants et améliorer considérablement les normes de sécurité relatives à la distribution des produits chimiques dans les zones de traitement des plaquettes.


Collecteurs de commutation semi-automatiques en acier inoxydable de haute pureté
Avec la miniaturisation des architectures de fabrication de semi-conducteurs à l'échelle subnanométrique, les boucles de traitement deviennent de plus en plus sensibles aux impuretés microscopiques, aux fluctuations de pression et aux délais de transit des fluides. Les panneaux de distribution de gaz traditionnels, complexes et reposant sur de nombreuses lignes coaxiales, des soudures manuelles et de volumineux régulateurs de débit massique individuels, atteignent rapidement leurs limites mécaniques. La transition vers un système de gaz intégré de haute technologie représente un tournant majeur pour les usines de fabrication de plaquettes, les centres de recherche et les centrales photovoltaïques qui cherchent à optimiser la disponibilité de leurs équipements tout en réduisant la surface occupée par les salles blanches.

L'architecture structurelle du système de gaz intégré avancé de Shanghai Chengwei repose sur une configuration modulaire de montage en surface. Au lieu de raccorder les vannes, les régulateurs et les filtres par des conduites individuelles, les composants sont montés directement sur des blocs de base en métal de haute pureté dotés de canaux de fluide internes. Cette conception spécifique élimine les zones mortes internes où des traces de gaz spéciaux ou l'humidité ambiante pourraient s'accumuler. En supprimant ces poches de fluide, l'infrastructure garantit une purge rapide du gaz, accélère les temps de réponse lors des changements de gaz et réduit considérablement le volume interne total du circuit de distribution.

Fabriquées dans la salle blanche de classe 100 de 500 m² de l'entreprise afin d'éliminer toute contamination environnementale, les structures de base utilisent une métallurgie de haute qualité en acier inoxydable 316L VIM/VAR électropoli. Les circuits de fluides internes subissent des traitements de passivation chimique rigoureux pour obtenir une finition interne ultra-lisse, empêchant le détachement de microparticules et résistant à la corrosion par des gaz spéciaux agressifs et volatils tels que le chlorure d'hydrogène, le chlore et l'ammoniac. Chaque bloc intègre des joints à membrane métal-métal haute durabilité, réduisant le taux de fuite d'hélium jusqu'aux seuils de vide ultra-pur.

La sécurité opérationnelle et la régulation des débits sont assurées par des systèmes de contrôle numérique intégrés. Chaque module communique directement avec des régulateurs de débit massique, des transducteurs de pression et des vannes d'isolement pneumatiques automatisées. Ces boucles numériques communiquent via des protocoles de réseau industriel à haut débit, permettant à l'automate programmable principal de l'usine de suivre en temps réel la température des gaz, la pression des fluides et les débits. Pour les procédés chimiques réactifs, inflammables ou pyrophoriques, le système de gaz intégré est équipé de vannes d'arrêt d'urgence automatisées et de capteurs de détection de fuites en continu, reliés directement aux systèmes de traitement des gaz résiduaires des épurateurs humides situés en sous-unité.

En intégrant des ensembles complexes de vannes multiples dans une grille compacte et standardisée, le système de gaz intégré permet de réduire jusqu'à 60 % l'encombrement physique par rapport aux panneaux de gaz conventionnels. Cette réduction significative de l'espace disponible permet aux ingénieurs d'installer l'ensemble de l'infrastructure de gaz au plus près du point d'utilisation, minimisant ainsi les pertes de charge en aval et garantissant la constance du débit de fluide. De plus, la conception modulaire simplifie la maintenance sur site, permettant aux techniciens de l'usine de démonter et de remplacer rapidement les modules individuels montés en surface sans avoir à démonter les lignes de production adjacentes ni à provoquer d'arrêts de production prolongés.

La mise en œuvre de ces systèmes de gaz intégrés de pointe permet aux fabricants de semi-conducteurs et aux ingénieurs de procédés d'atteindre une pureté maximale des fluides, de réduire les déchets chimiques et de stabiliser les variables de procédé. Ce développement technologique stratégique répond aux normes environnementales internationales les plus strictes, minimise le coût total de possession et offre une base extrêmement fiable pour la miniaturisation avancée des nœuds technologiques, le dépôt de couches minces et les procédés complexes de gravure plasma à l'échelle mondiale.


Systèmes et composants de contrôle des fluides semi-conducteurs
À propos de Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. :
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) est une société d'ingénierie et de fabrication spécialisée dans les infrastructures de distribution de gaz, de produits chimiques et de suspensions ultra-purs pour les industries des semi-conducteurs et de la fabrication de pointe. Basée dans le district de Songjiang à Shanghai, la société exploite un site de 4 000 m² comprenant une zone de production ultra-propre de 2 500 m² et une salle blanche de classe 100 de 500 m². CWSC fournit des systèmes de haute précision pour le traitement des substrats, la gestion des contaminants et la régulation de la distribution des produits chimiques au sein des usines de fabrication de plaquettes à travers le monde.

 

Contact
James Yuan
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd
N° 9, voie 345, Minshen Road, district de Songjiang, Shanghai, Chine
Téléphone: + 86-13380377051
Web: https://www.chengweisemi.com/