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Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lance des architectures de systèmes de gaz intégrés de nouvelle génération

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Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment lance des architectures de systèmes de gaz intégrés de nouvelle génération

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SHANGHAI, CHINE – Les installations de fabrication de microélectronique de pointe et les usines de production de plaquettes de semi-conducteurs de nouvelle génération exigent une précision, une sécurité et une efficacité sans précédent en matière de distribution des gaz de procédé. Pour répondre à ces contraintes de fabrication modernes très strictes, la société Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) a annoncé le déploiement commercial officiel de ses panneaux de systèmes de gaz intégrés de nouvelle génération. Fabriqués au sein des salles blanches spécialisées de l’entreprise, situées dans le district de Songjiang à Shanghai, ces panneaux s’appuient sur des blocs de distribution de gaz automatisés à montage en surface, conçus pour optimiser l’encombrement au sol des sous-usines, minimiser les traces de contaminants et rehausser considérablement les normes de sécurité en matière de distribution des produits chimiques au sein des zones de traitement des plaquettes.

Collecteurs de commutation semi-automatiques en acier inoxydable haute pureté
Collecteurs de commutation semi-automatiques en acier inoxydable haute pureté
À mesure que les architectures de fabrication de semi-conducteurs à nœuds avancés se miniaturisent jusqu’à des niveaux inférieurs au nanomètre, les boucles de processus deviennent de plus en plus sensibles aux impuretés microscopiques, aux fluctuations de pression et aux retards de transit des fluides. Les panneaux de distribution de gaz traditionnels, riches en composants et reposant sur un réseau étendu de conduites coaxiales, des soudures manuelles et de gros régulateurs de débit massique individuels, atteignent rapidement leurs limites mécaniques. Le passage à un système de gaz intégré de haute ingénierie représente une évolution cruciale pour les usines de fabrication de plaquettes, les centres de recherche et les centrales solaires photovoltaïques qui cherchent à maximiser la disponibilité de leurs équipements tout en réduisant l’espace occupé dans les salles blanches.

L’architecture structurelle du système de distribution de gaz intégré de pointe de Shanghai Chengwei repose sur une configuration modulaire spécialisée à montage en surface. Plutôt que de raccorder les vannes, les régulateurs et les filtres à l’aide de conduites individuelles, les composants sont montés directement sur des blocs de base métalliques de haute pureté dotés de canaux de fluide internes. Cette conception spécialisée élimine les zones mortes internes ou les branches mortes où des traces de gaz spéciaux ou d’humidité ambiante pourraient rester piégées. En supprimant ces poches de fluide, l’infrastructure garantit une purge rapide des gaz, accélère les temps de réponse lors des phases de commutation de gaz et réduit considérablement le volume interne total de la boucle de distribution.

Fabriquées au sein de la salle blanche de classe 100 de 500 mètres carrés de l’entreprise afin d’éliminer les contaminants environnementaux, les structures de base sont réalisées en acier inoxydable 316L VIM/VAR électropoli de première qualité. Les voies de circulation internes sont soumises à des traitements de passivation chimique rigoureux afin d’obtenir une finition interne ultra-lisse, empêchant ainsi le détachement de microparticules et combattant la corrosion causée par des gaz spéciaux agressifs et volatils tels que le chlorure d’hydrogène, le chlore et l’ammoniac. Chaque bloc intègre des joints à membrane métal-métal à haute durabilité, réduisant le taux limite de fuite d’hélium jusqu’aux seuils de vide de très haute pureté.

La sécurité opérationnelle et la régulation du débit sont gérées par des systèmes de contrôle numériques intégrés. Chaque bloc modulaire s’interface directement avec des régulateurs de débit massique avancés, des transducteurs de pression et des vannes d’isolement pneumatiques automatisées. Ces boucles numérisées communiquent via des protocoles de réseau industriel à haut débit, permettant au contrôleur logique programmable principal de l’usine de suivre en temps réel la température du gaz, la pression du fluide et les débits. Pour les processus chimiques impliquant des substances réactives, inflammables ou pyrophoriques, le système de gaz intégré est équipé de vannes d’arrêt d’urgence automatisées et de capteurs de détection continue des fuites qui se raccordent directement aux systèmes locaux de traitement des gaz résiduels par lavage humide situés dans les sous-usines.

En regroupant des ensembles complexes à plusieurs vannes au sein d’une grille compacte et standardisée, le système de gaz intégré permet de réduire jusqu’à 60 % l’encombrement physique par rapport aux panneaux de gaz conventionnels. Cette réduction considérable de l’encombrement permet aux ingénieurs d’outillage d’installer l’ensemble de l’infrastructure de gaz plus près du point d’utilisation, ce qui minimise les chutes de pression en aval et garantit la régularité de l’alimentation en fluide. De plus, la conception modulaire simplifie la maintenance sur site, permettant aux techniciens de l’usine de dévisser et de remplacer rapidement des modules individuels montés en surface sans démanteler les lignes de traitement adjacentes ni entraîner de temps d’arrêt prolongés de l’installation.

La mise en œuvre de ces systèmes de gaz intégrés avancés permet aux fabricants de semi-conducteurs et aux ingénieurs de procédés d’atteindre une pureté maximale des fluides, de réduire les déchets chimiques bruts et de stabiliser les variables de procédé. Ce développement technologique stratégique respecte les directives internationales strictes en matière de conformité environnementale, minimise le coût total de possession et offre une base exceptionnellement sûre pour la miniaturisation avancée des nœuds, le dépôt de couches minces et les processus complexes de gravure au plasma à l’échelle mondiale.

Systèmes et composants de contrôle des fluides pour semi-conducteurs
Systèmes et composants de contrôle des fluides pour semi-conducteurs
À propos de Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. :
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd. (CWSC) est une entreprise spécialisée dans l’ingénierie et la fabrication, axée sur les infrastructures de distribution de gaz, de produits chimiques et de suspensions d’ultra-haute pureté destinées aux industries des semi-conducteurs et de la fabrication de pointe. Basée dans le district de Songjiang à Shanghai, la société exploite un site de 4 000 mètres carrés comprenant une zone de production ultra-propre de 2 500 mètres carrés et une salle blanche de classe 100 de 500 mètres carrés. CWSC fournit des systèmes de haute précision qui permettent le traitement des substrats, la gestion des empreintes de contaminants et la régulation de la distribution des produits chimiques au sein des usines de fabrication de plaquettes à travers le monde.

Contact :
James Yuan
Shanghai Chengwei Semiconductor Equipment Co., Ltd
N° 9, ruelle 345, route de Minshen, district de Songjiang, Shanghai, Chine
Téléphone : +86-13380377051
Site web : https://www.chengweisemi.com/