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Armoire à gaz VMB semi-automatique avec boîtier de distribution à vannes semi-conductrices, vannes à membrane et régulateurs de pression de gaz

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Armoire à gaz VMB semi-automatique avec boîtier de distribution à vannes semi-conductrices, vannes à membrane et régulateurs de pression de gaz

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Armoire à gaz semi-automatique VMB équipée d'un bloc de vannes pour semi-conducteurs, de vannes à membrane et de régulateurs de pression de gaz

Dans la fabrication de semi-conducteurs, il est essentiel de manipuler les gaz dangereux en toute sécurité et de les distribuer avec précision. L'armoire à gaz semi-automatique VMB est un système clé conçu pour répondre à ces besoins. VMB signifie « Valve Manifold Box » (boîtier de distribution de vannes) ; cette armoire combine des composants de pointe, tels que des vannes à membrane et des régulateurs de pression de gaz, afin de garantir la sécurité, la pureté et le contrôle de la distribution des gaz.

Qu'est-ce qu'une armoire à gaz ?
Une armoire à gaz est une enceinte sécurisée qui stocke les bouteilles de gaz utilisées dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, tels que la gravure ou le dépôt chimique en phase vapeur. Elle protège les travailleurs et les équipements contre les fuites ou les accidents. Son fonctionnement semi-automatique signifie que certaines tâches, comme le réglage du débit ou de la pression du gaz, sont automatisées, tandis que d’autres, comme le remplacement des bouteilles, nécessitent une intervention manuelle. Cette combinaison améliore l’efficacité sans compromettre la sécurité.

Le bloc de vannes pour semi-conducteurs
Le bloc de vannes est le cœur du système. Conçu spécifiquement pour les applications liées aux semi-conducteurs, il abrite plusieurs vannes permettant d’acheminer le gaz depuis les bouteilles vers les points d’utilisation. Il permet aux opérateurs de changer de gaz ou d’isoler certaines parties du système à des fins de maintenance, tout en garantissant un débit de gaz précis et exempt de contamination.

Rôle des vannes à membrane
Les vannes à membrane se distinguent par l’utilisation d’une membrane flexible pour contrôler le débit de gaz. Elles assurent une étanchéité parfaite, empêchant les fuites et bloquant l’entrée de contaminants. Ceci est essentiel dans la fabrication de semi-conducteurs, où même de minuscules particules peuvent dégrader un produit. Leur conception évite également la génération de débris, garantissant ainsi un environnement propre.

Importance des régulateurs de pression de gaz
Les régulateurs de pression de gaz contrôlent la pression du gaz à mesure qu’il circule dans le système. Différents procédés nécessitent des pressions spécifiques, et les régulateurs garantissent leur homogénéité. Cette précision contribue à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs fiables et de haute qualité.

Pourquoi est-ce important ?
Ensemble, ces composants font de l’armoire à gaz semi-automatique VMB un outil essentiel. Elle fournit en toute sécurité un gaz pur à une pression précise, contribuant ainsi à la production des technologies de pointe dont nous dépendons au quotidien.

Caractéristiques techniques

Modèle JW-100-GC avec régulateurs de pression de gaz et boîtier de vannes pour semi-conducteurs
Spécifications Une bouteille / deux bouteilles
Dimensions de l’armoire à gaz spéciale Deux bouteilles : L 800 × P 520 × H 1 957, une bouteille : L 500 × P 520 × H 1 957
Alimentation électrique de l’armoire de commande : alimentation de commande : 220 V CA, 50 Hz, 500 W ; alimentation de chauffage : 220 V CA, 50 Hz, 1-6 kW
Équipement standard : châssis anticorrosion, socle en acier inoxydable