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Platine compacte XY+Rotary

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Platines XY compactes et précises

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Les platines rotatives XY avec moteurs linéaires et moteurs à couple direct sont conçues avec un profil bas pour la manipulation des wafers et de nombreuses autres applications automatisées de positionnement précis dans les industries de fabrication de semi-conducteurs. L'entraînement par moteur linéaire XY permet un positionnement XY inférieur au micron et la platine rotative à entraînement direct garantit des performances inférieures à l'arcseconde.