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NOUVEAU : contrôleur de pression de gaz par HORIBA STEC

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Série du système de refroidissement GR-300 d'arrière de gaufrette

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Vue d'ensemble

La série GR-300 peut commander le gaz employé pour refroidir l'arrière des gaufrettes qui sont fixées en position par un système électrostatique de mandrin. Approprié aux systèmes de refroidissement utilisant l'hélium, et la commande de gaz du gaz de couverture de gaufrette utilisant l'argon.

Avec l'addition de l'option de sonde d'écoulement de la masse il est possible de surveiller le débit de gaz.