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Z3TM : nouveau module combiné

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Le Z3TM élargit le portefeuille de modules au service des plateformes de mouvement

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Ce module ajoute quatre degrés de liberté indépendants, à savoir le long d'un axe rotatif, d'un axe vertical et de deux axes obliques. De par sa conception, ce module optionnel permet la réalisation complète des profils de mouvement des plaquettes pour les applications avancées de semi-conducteurs, offrant ainsi aux OEM une solution clé en main pour toute technologie de semi-conducteurs.