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NOUVEAUTÉ : pompe à vide à membrane by EDWARDS
Les pompes à vide avancées de semi-conducteurs d'Edwards ont démontré sur le terrain qu'elles atteignaient les standards d'utilisation les plus élevés. La fiabilité et les hautes performances sont atteintes en prolongeant la durée de vie, en améliorant le temps d'utilisation et en augmentant la productivité, tout en minimisant l'encombrement et les frais d'investissement et de fonctionnement.
La série iH offre une grande fiabilité pour les procédés difficiles, tels que le PECVD et le LPCVD, impliquant des sous-produits corrosifs, condensables et particulaires.
