200 Micron vertical Nanopositioning Étape par DSM

nanopositionnement piézoélectrique stade XSA- 0200C de DSM dispose d' un mouvement de flexion - guidée sur une plage de Voyage de 200 microns pour les processus de numérisation , de métrologie et d'inspection . conception cinématique stable et rigide du stade favorise le parallélisme dans le mouvement de sortie avec un pas minimal et de lacet , ainsi que la réactivité dynamique pour une excellente stabilité et contrôle la position .

• boucle ouverte Voyage: 200 microns ± 10%

• Rigidité: 0,8N / micron ± 10%

• Linéarité : 0,12% typique

• Pitch / Yaw : < 20 micro radians typique

• Freq Resonant Déchargé : 420 Hz ± 10 %

• Force de blocage : 160 N ± 10%

• Capacité Push / force de traction : 40 N Max

• Capacité électrique: 3,6 micro Farad ± 10 %

• Plage de température de fonctionnement: -20 à 80 degrés Celsius

• Tension de fonctionnement : -30 à 150 V

• Dimensions: 60 x 60 x 12,5 mm

• Masse : 0,31 kg ± 10%

• Matériel: Acier inoxydable

• Longueur de câble : Flying Leads ( Options disponibles )