{{{sourceTextContent.title}}}

Compteur de particules laser Cubic pour la surveillance de la propreté de l'air dans les salles blanches de semi-conducteurs

{{{sourceTextContent.subTitle}}}

Comment lutter contre la pollution par les particules dans les salles blanches pour semi-conducteurs ?

{{{sourceTextContent.description}}}

Selon une récente étude World Fab Forecast publiée par Semiconductor Equipment Manufacturers International (SEMI), plus de 50 % des pertes de rendement des semi-conducteurs peuvent être attribuées à la micro-contamination. Pour minimiser les pertes de rendement, il est essentiel que les usines de fabrication de semi-conducteurs adoptent des stratégies rigoureuses de contrôle de la contamination dans les salles blanches.

Les particules constituent l'une des principales sources de microcontamination dans les processus de fabrication des semi-conducteurs, qu'il convient de surveiller en permanence et d'éliminer rapidement.

Afin d'aider les usines de fabrication de semi-conducteurs à contrôler en permanence les particules dans les salles blanches, Cubic a fourni une solution, le compteur optique de particules en ligne OPC-6510DS, qui peut être utilisé pour contrôler la propreté de l'air des salles blanches dans les usines de fabrication de semi-conducteurs.

Le compteur optique de particules OPC-6510DS de Cubic est développé sur la base de la technologie de diffusion laser et peut réaliser une détection précise des particules de différentes tailles dans une unité de volume d'air. Grâce à son module de comptage de particules laser unique, à son ventilateur à régime constant et à son capteur de débit à ultrasons bien conçu, l'OPC-6510DS fournit un débit stable et élevé de 28,3 L/min pour l'échantillonnage des gaz, ce qui lui permet d'être conforme aux exigences de la norme ISO 14644-1. Cubic OPC-6510DS peut fournir simultanément le nombre de particules de 5 canaux de >0,3μm, >0,5μm, >1,0μm, >5,0μm, >10μm en pcs/28,3L ou pcs/m³ et prend en charge un fonctionnement 24/7 pour assurer une surveillance stable et continue des particules.

En plus des performances et des caractéristiques de base, un écran tactile est développé pour l'OPC-6510DS afin d'afficher les données de surveillance continue et les niveaux de la salle blanche en temps réel. La fonction d'alarme sonore et visuelle est également conçue pour donner l'alerte en temps voulu sur le site.

En outre, le Cubic OPC-6510DS peut assurer la transmission en ligne des données de surveillance sur la base des communications RS485 ModBus et MOTT, qui peuvent être intégrées dans le système de filtration pour maintenir la pollution par les particules dans l'environnement de la salle blanche dans une certaine plage de faible concentration.