Solution intégrée de générateur de vapeur

Cette gamme de générateurs de vapeur (Vapor Delivery Modules) est utilisée avec succès dans les processus de dépôts de vapeur et de couches minces de protection dans le cadre de la production de semi-conducteurs, de transistors et de panneaux solaires. Les dispositifs peuvent également être appliqués pour l''étalonnage d''analyseurs tels que des chromatographes gaz et des spectromètres de masse, pour des anesthésies et pour l''humidification de piles à combustibles ou d''atmosphères gazeux.