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Advanced Energy annonce une plateforme de détection multicanal de haute précision avec une plage de température ultra-large

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Plateforme Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT) à cinq canaux avec une précision inégalée pour la détection de températures extrêmement basses et élevées

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DENVER, Colo., août 2023 - Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq : AEIS) - un leader mondial en matière de solutions de conversion d'énergie, de mesure et de contrôle de haute précision - a élargi sa famille Luxtron® FluorOptic® Thermometry (FOT) avec une plate-forme de convertisseur hautement intégrée qui fournit une détection de haute précision à des températures extrêmement basses et extrêmement élevées.

Idéale pour les processus de dépôt et de gravure de semi-conducteurs par plasma, la nouvelle Luxtron M-1100 fonctionne de -200°C, le début de la gamme cryogénique, jusqu'à des températures de 450°C avec une précision de +/- 0,1°C et une stabilité de +/- 0,05°C, les meilleures de l'industrie. L'intégration de cinq canaux permet de surveiller plusieurs sondes à partir d'un seul convertisseur, tandis que les sorties de communication flexibles simplifient la surveillance numérique, les mises à jour et l'intégration du système.

"Une surveillance précise sur des plages de température étendues est essentielle pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à répondre aux exigences complexes de gravure et de dépôt des processus de fabrication de la prochaine génération", a déclaré Dhaval Dhayatkar, vice-président et directeur général des produits de détection et de contrôle critiques chez Advanced Energy. "Le Luxtron M-1100 renforce notre leadership dans le domaine de la thermométrie à fibre optique de haute précision à base de phosphore et répond à la demande des clients de minimiser les frais généraux de mesure et d'assurer l'intégration dans les systèmes de surveillance et de contrôle

S'appuyant sur des sondes à fibre optique et la technologie des capteurs au phosphore, les systèmes de détection FOT de Luxtron combinent des convertisseurs haute performance avec une source lumineuse avancée, un algorithme logiciel propriétaire de photodétecteur et des circuits d'amplification à faible bruit. Le Luxtron M-1100 est le premier modèle à offrir des interfaces de communication analogiques et EtherCAT.

Le nouveau convertisseur simplifie la mise en œuvre en permettant un montage mural sur le côté du système à surveiller. L'expérience de l'utilisateur est encore améliorée grâce au soutien des équipes d'ingénieurs internationaux d'Advanced Energy, qui collaborent avec les équipementiers pour développer des sondes personnalisées pour des applications de pointe.