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HORIBA SCIENTIFIC lance l’UVISEL PLUS, l’ellipsomètre spectroscopique de référence pour la mesure de couches minces.

HORIBA Scientific
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L’Uvisel Plus est équipé de la nouvelle génération d’acquisition FastAcq pour une meilleure précision de mesure.

HORIBA Scientific, leader mondial en ellipsométrie spectroscopique depuis plus de 25 ans, est fier d'annoncer le lancement de l’UVISEL Plus, un ellipsomètre spectroscopique modulaire doté d’une nouvelle technologie d’acquisition pour une mesure plus rapide et plus précise des couches minces.

La nouvelle technologie FastAcq est basée sur une double modulation, parfaitement adaptée à la caractérisation des couches minces d’aujourd’hui. Forte de ce nouveau traitement de données électronique et d'un monochromateur plus rapide, la nouvelle technologie FastAcq permet d'effectuer une mesure spectroscopique de 190 à 2100 nm en moins de 3 minutes, à très haute résolution. La possibilité d’ajuster la résolution spectrale sur des plages distinctes de la gamme permet de mesurer un échantillon plus rapidement et plus astucieusement.

Grâce à sa conception sans éléments tournants, ni composants supplémentaires dans le trajet optique, la technologie à modulation de phase des UVISEL est reconnue pour fournir la modulation de polarisation la plus pure et la plus performante. Les capacités supérieures du modulateur photo-élastique permettent des mesures ellipsométriques plus précises, notamment nécessaires pour les couches transparentes déposées sur substrat de verre.

La conception modulaire et évolutive de l'UVISEL Plus offre plusieurs tailles de microspot dédié aux échantillons à motif jusqu'à 50 μm, un angle d’incidence variable de 40 à 90°, une cartographie automatique et une variété d'accessoires. Les futures évolutions du système sont simples à mettre en œuvre, permettant de répondre à un grand nombre d’applications et de moyens budgétaires. La gamme spectrale de 190 à 2100 nm est couverte par deux configurations de l’UVISEL Plus : 190-920 nm et une extension NIR jusqu'à 2100 nm. Piloté par la plateforme logicielle DeltaPsi2, l’UVISEL Plus permet aux utilisateurs débutants ou experts d'effectuer des mesures de film mince avec la plus grande précision et sensibilité.

L'UVISEL Plus avec sa technologie FastAcq est l'ellipsomètre spectroscopique le plus polyvalent du marché pour les mesures d'épaisseur de couches minces et de constantes optiques dans les domaines de la recherche et du traitement des matériaux, des écrans plats, de la microélectronique et du photovoltaïque.

L'UVISEL Plus est considéré comme l’ellipsomètre de référence pour la science des matériaux.

L'UVISEL Plus est livré avec l’installation et la formation sur site, un support technique et applicatif pour optimiser vos modélisations.

NOUVEL UVISEL PLUS Ellipsometer spectroscopique
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